多栅极石墨烯场效应晶体管传感器阵列及多重检测方法
公开
摘要

本发明提出一种多栅极石墨烯场效应晶体管传感器阵列和它的制备方法,所述的传感器阵列是在玻璃基板上溅射沉积图案化的源极和漏极,气相沉积单层石墨烯沟道,设置多个不同功能性材料修饰的栅电极;传感器由漏极、源极和多个栅极共同组成的。所述制备方法包括如下步骤:清洗和制作玻璃基底;制备图案化复合金电极;利用磁控溅射的射频磁控管在玻璃薄片上依次溅射沉积图案化的Cr/Au电极作为场效应晶体管的源极、漏极和栅极;通过化学气相沉积法CVD于预定厚度的铜箔上合成单层石墨烯层;将石墨烯切割成预定尺寸,利用湿化学法在去离子水中将石墨烯转移至图案化的源极和漏极之间的沟道上,清洗退火;封装制作好的传感器阵列器件。

基本信息
专利标题 :
多栅极石墨烯场效应晶体管传感器阵列及多重检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114624309A
申请号 :
CN202210221633.X
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2022-03-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郑磊瞿昊汪玉宏王荣荣毛瑜
申请人 :
合肥工业大学
申请人地址 :
安徽省合肥市包河区屯溪路193号
代理机构 :
中国和平利用军工技术协会专利中心
代理人 :
周玄
优先权 :
CN202210221633.X
主分类号 :
G01N27/414
IPC分类号 :
G01N27/414  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/18
••••由于被试环境物质的热传导变化引起的电阻
G01N27/26
通过测试电化学变量;用电解或电泳法
G01N27/403
电池和电极组件
G01N27/414
对离子敏感的场效应晶体管或化学场效应晶体管,即ISFETS或CHEMFETS
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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