一种清洗液循环流动的晶圆槽式清洗机
公开
摘要
本发明适用于晶圆生产设备技术领域，提供了一种清洗液循环流动的晶圆槽式清洗机；包括：清洗槽；设置于清洗槽内部的环形隔板，环形隔板外侧与清洗槽内侧围合而成循环槽；转动设置于环形隔板内部的转动盘；设置在转动盘上往复滑动的多个用于承载超声换能器的安装滑板；设置在环形隔板内部的花篮固定架，花篮固定架用于对花篮进行固定；用于驱动花篮固定架和超声换能器往复滑动的驱动机构，驱动机构设置在清洗槽上；及，用于驱动清洗槽内部清洗液通过循环槽循环流动的连通管道，连通管道设置在清洗槽底部；连通管道内部转动设置有用于驱动清洗液流动的螺旋器。本发明提高了清洗效率，同时使得晶圆清洗更加完整。
基本信息
专利标题 ：
一种清洗液循环流动的晶圆槽式清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114589157A
申请号 ：
CN202210237584.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙先淼周训丙赵天翔
申请人 ：
智程半导体设备科技(昆山)有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
代理机构 ：
北京专赢专利代理有限公司
代理人 ：
陈进
优先权 ：
CN202210237584.9
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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