非平面镜组缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质
公开
摘要
本申请涉及一种非平面镜组缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质，非平面镜组缺陷检测方法，包括以下步骤：获取被测镜组的轮廓参数；获取成像异常区域在所述被测镜组上的位置信息；根据所述轮廓参数和所述位置信息，控制所述被测镜组的所述成像异常区域与光学显微镜的物镜对齐；控制所述光学显微镜获取所述成像异常区域的图像信息。该非平面镜组缺陷检测方法能够解决目前利用光学显微镜观察非平面镜组成像异常区域的微观状态时，难以获得清晰图像的问题。
基本信息
专利标题 ：
非平面镜组缺陷检测方法、装置、计算机设备和存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623764A
申请号 ：
CN202210248031.3
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
麦宏全吴朵朵林咏翔
申请人 ：
业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区西区合作路689号
代理机构 ：
成都希盛知识产权代理有限公司
代理人 ：
温国杰
优先权 ：
CN202210248031.3
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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