本申请公开了缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质，缺陷检测设备获取待测件的检测图像；确定检测图像的待测区域；对待测区域进行二值化处理，获取二值图像；确定二值图像中边缘区域，边缘区域包括多个待测区域的白色像素点；沿第一方向或沿第二方向对边缘区域的待测像素点进行检测；确定边缘区域上每一列或每一行的特征点，当特征点的数量大于或等于预设数量时，确定特征点为待测件的缺陷。通过确定晶圆上待测区域的边缘区域，并确定边缘区域上的特征点，再根据特征点确定待测件的缺陷，能够准确的通过特征点的位置确定待测件上的缺陷类型，提高对待测件的检测准确率，避免由于检测准确率低而进行复检，提高待测件的检测效率。