本发明涉及一种碳化硅晶体高效抛光方法，利用环聚型超声振动工作流体电化学抛光设备对碳化硅晶体试件进行抛光，环聚型超声振动工作流体电化学抛光设备包括用来对碳化硅晶体试件进行机械抛光的抛光盘、用来施加超声振动的倒扣式超声波清洗槽、用来对碳化硅晶体试件进行电化学加工的电化学组件、辅助振动组件、位于抛光盘内部的工作流体、用来将抛光盘内工作流体排到抛光盘外的n形绝缘排料管、用来驱动绝缘排料管进行排料的驱动机构。本发明能够对碳化硅晶体的表面进行精抛光和超精抛光，抛光所需时间短，抛光效率高，对亚表面损伤层的伤害小；抛光后的表面无凹坑和划痕，平坦区域面积大。