一种可以自动控制的真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型提供一种可以自动控制的真空镀膜机。所述可以自动控制的真空镀膜机,包括机体;驱动组件,所述驱动组件的底部固定连接于所述机体的顶部;两个连接组件,两个所述连接组件的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件的底部和转动连接于机体内壁的底部。本实用新型提供的可以自动控制的真空镀膜机通过连接组件中组件的配合使用下,使得真空镀膜机在需要对工装架进行拆卸更换的时候能够进行快速的更换,进而提高更换的效率并且节省更换的时间,通过收集组件中组件的配合使用下,使得真空镀膜机能够将在工作过程中使用的惰性气体进行回收,因此避免了资源的浪费节省了成本。
基本信息
专利标题 :
一种可以自动控制的真空镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220160332.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-21
授权号 :
CN216614833U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
王奎王洪全
申请人 :
青岛深蓝科创金属制造有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市黄岛区泊里镇周村村南侧西端
代理机构 :
山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李勇鹏
优先权 :
CN202220160332.6
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C14/22 C23C14/35 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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