上下探针测试装置
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
一种上下探针测试装置，主要用于半导体陶瓷材料的电阻率(或总电阻)的测量，采用下探针为电流探针、上探针为电压探针的四探针接触模式，探针材料为金属钛且针尖扁平，能与半导体陶瓷表面形成良好的低阻接触。利用此装置能直接测量半导体陶瓷材料的电阻率而无需预制电极，测量简便、快速、可靠，测试结果直接数字显示，可广泛应用于半导体陶瓷材料生产的中间成品或成品的检测。
基本信息
专利标题 ：
上下探针测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN88215003.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1988-10-12
授权号 ：
CN2045497U
授权日 ：
1989-10-04
发明人 ：
张郁华
申请人 ：
广州半导体材料研究所
申请人地址 ：
广东省广州市沙河东莞庄
代理机构 ：
广东专利事务所
代理人 ：
李志明
优先权 ：
CN88215003.0
主分类号 ：
G01R27/02
IPC分类号 ：
G01R27/02 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
法律状态
1994-03-02 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1990-06-06 ：
授权
1989-10-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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