保持预期曝光水平的方法和设备

专利申请的撤回

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摘要

一个用于使一个表面选择性曝光的射束，借助于两个围绕相互垂直的轴振动的振荡反光镜，沿一条螺旋路线移动。通过保持振荡频率和旋转振荡反光镜偏转的恒定乘积，使曝光水平能达到基本上恒定。

基本信息

专利标题：

保持预期曝光水平的方法和设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1047927A

申请号：

CN90103994.2

公开（公告）日：

1990-12-19

申请日：

1990-05-31

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

尤斯塔西奥斯·瓦西里欧

申请人：

纳幕尔杜邦公司

申请人地址：

美国特拉华州

代理机构：

中国专利代理有限公司

代理人：

齐曾度

优先权：

CN90103994.2

主分类号：

G03G15/04

IPC分类号：

G03G15/04 G02B26/08 G03C9/08

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03G

电记录术；电照相；磁记录

G03G15/00

应用电荷图形的电记录工艺的设备

G03G15/04

曝光用的，即将原件图像光学投影到光导记录材料上而进行图像曝光

法律状态

1997-05-21 ：

专利申请的撤回

1992-08-26 ：

实质审查请求已生效的专利申请

1992-05-13 ：

著录项目变更

变更事项 : 申请人
变更前 : 纳幕尔杜邦公司
变更后 : 帝人制机株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 美国特拉华州
变更后 : 日本大阪府大阪市

1990-12-19 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN1047927A.PDF

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