微机械器件的制造方法

专利权的终止

摘要

一种不容许碎屑存在的微机械器件，尤其是例如ＤＭＤ这类微机械器件的制造方法，允许锯切圆片后再完成全部的制造步骤。某些器件太脆弱，不允许器件制造好后再进行清洗操作。一种解决方案是先锯切和清洗圆片再完成使器件变脆弱的那些制造步骤。为避免个别地加工芯片３０，将一基底圆片粘贴于切割带２４的背面。此基底圆片使锯切好的芯片３０处于对齐状态，以允许余下的制造步骤以圆片形式进行。

基本信息

专利标题：

微机械器件的制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1101458A

申请号：

CN94102015.0

公开（公告）日：

1995-04-12

申请日：

1994-03-03

授权号：

CN1054437C

授权日：

2000-07-12

发明人：

格雷戈里Ｃ·史密斯

申请人：

德克萨斯仪器股份有限公司

申请人地址：

美国德克萨斯州

代理机构：

上海专利商标事务所

代理人：

赵国华

优先权：

CN94102015.0

主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

G02B26/08 H01L21/302

IPC结构图谱

G部——物理

G02

光学

G02B

光学元件、系统或仪器附注

G02B26/00

利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制

G02B26/08

控制光的方向

法律状态

2010-08-04 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101004439282
IPC(主分类) : G02B 26/08
专利号 : ZL941020150
申请日 : 19940303
授权公告日 : 20000712

2000-07-12 ：

授权

1996-05-29 ：

实质审查请求的生效

1995-04-12 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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