气化器
专利权的终止
摘要

本发明涉及一种用于从气液混合的流体得到处理气体的气化器,具备:容器,规定上述气化器的处理空间;供给头,具有向上述容器内喷出上述流体的多个喷出口;加热通路,在所述喷出口的下侧、配置在所述容器内,所述加热通路对流通过程中的所述流体进行加热而生成所述处理气体;气体导出通路,与所述容器连接,从所述加热通路的下侧、在横方向上导出所述处理气体;雾积存部,在所述气体导出路的下侧、配置于所述容器中。

基本信息
专利标题 :
气化器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1754983A
申请号 :
CN200510107962.8
公开(公告)日 :
2006-04-05
申请日 :
2005-09-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
冈部庸之大仓成幸
申请人 :
东京毅力科创株式会社
申请人地址 :
日本国东京都
代理机构 :
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 :
龙淳
优先权 :
CN200510107962.8
主分类号 :
C23C16/448
IPC分类号 :
C23C16/448  H01L21/205  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/448
产生反应气流的方法,例如通过母体材料的蒸发或升华
法律状态
2016-11-16 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101687377831
IPC(主分类) : C23C 16/448
专利号 : ZL2005101079628
申请日 : 20050930
授权公告日 : 20090916
终止日期 : 20150930
2009-09-16 :
授权
2007-07-18 :
实质审查的生效
2006-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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