低K介电材料的接合焊盘和用于制造半导体器件的方法
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明公开了一种具有改进接触结构的半导体器件。该器件具有半导体衬底,例如,硅晶片。该器件具有多个在部分半导体衬底上形成的栅极结构(例如,MOS栅极结构)。该器件还具有栅极介电层和绝缘结构,例如,绝缘槽。该器件具有覆盖在栅极结构上的第一层间电介质(例如,低K,BPSG,PSG,FSG)。在优选实施方案中,第一层间介电层具有基本上平坦的表面区域。该器件具有覆盖在第一层间介电层的基本上平坦的表面区域上的第一铜互连层。该器件还具有覆盖在第一铜互连层上的第一低K介电层。第二铜互连层覆盖在低K介电层上。第一铜层和第二铜层之间的铜环结构封闭第一低K介电层的整个内区。在优选实施方案中,在第一铜互连层和第二铜互连层之间提供铜环结构以维持第一低K介电层内区。接合焊盘结构覆盖在内区的区域上。
基本信息
专利标题 :
低K介电材料的接合焊盘和用于制造半导体器件的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1979831A
申请号 :
CN200510111133.7
公开(公告)日 :
2007-06-13
申请日 :
2005-11-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
宁先捷
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市浦东新区张江路18号
代理机构 :
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 :
肖善强
优先权 :
CN200510111133.7
主分类号 :
H01L23/485
IPC分类号 :
H01L23/485 H01L23/52 H01L21/28 H01L21/768
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/48
用于向或自处于工作中的固态物体通电的装置,例如引线或接线端装置
H01L23/482
由不可拆卸地施加到半导体本体上的内引线组成的
H01L23/485
包括导电层和绝缘层组成的层状结构,例如平面型触头
法律状态
2012-01-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101260313370
IPC(主分类) : H01L 23/485
专利号 : ZL2005101111337
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
登记生效日 : 20111129
号牌文件序号 : 101260313370
IPC(主分类) : H01L 23/485
专利号 : ZL2005101111337
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
登记生效日 : 20111129
2008-08-20 :
授权
2007-08-08 :
实质审查的生效
2007-06-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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