具有连接到布线的贯穿通道的衬底及其制造方法

专利权的终止

摘要

所公开的衬底由具有通孔的基底部件、提供在通孔中的贯穿通道、以及连接到贯穿通道的布线组成。此贯穿通道包括提供在通孔中的在基底部件二侧上具有二个端部的贯穿部分、形成在贯穿部分第一端部上以便被连接到布线的从基底部件伸出的第一突出、以及形成在贯穿部分第二端部上的从基底部件伸出的第二突出。第一突出和第二突出宽于通孔的直径。

基本信息

专利标题：

具有连接到布线的贯穿通道的衬底及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1783472A

申请号：

CN200510116139.3

公开（公告）日：

2006-06-07

申请日：

2005-10-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

山野孝治

申请人：

新光电气工业株式会社

申请人地址：

日本长野县

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

优先权：

CN200510116139.3

主分类号：

H01L23/498

IPC分类号：

H01L23/498 H01L23/52 H01L21/48 H01L21/768