图案形成方法和功能性膜

专利权的终止

摘要

本发明的图案形成方法，是在形成功能性膜之前，将设计图案分割为子区域，配置第1液状体以描绘该子区域的边界线，经过中间干燥工序，形成线状膜(38b)、(38c)、(38d)。接着，配置第2液状体以描绘子区域，形成第2液状体的图案(35a)、(35b)、(35c)、(35d)，经过主干燥工序，完成一体化的功能性膜。由此，本发明提供在形成功能性膜的图案时可以在线宽或形状等方面高精度地形成的图案形成方法以及功能性膜。

基本信息

专利标题：

图案形成方法和功能性膜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1764333A

申请号：

CN200510116454.6

公开（公告）日：

2006-04-26

申请日：

2005-10-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

酒井真理平井利充

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

优先权：

CN200510116454.6

主分类号：

H05B33/10

IPC分类号：

H05B33/10 H05B33/12 H01L21/288 G02F1/13 B41J2/01 B05C5/00