一种划片机晶圆自动识别对准装置及其方法，包括以下六个部分：一个数字CCD影像采集机；一个数字图像采集卡，对其输入上述数字CCD影像采集机采集的晶圆特征图形视频信号；一个接收上述数字图像采集卡视频信号的计算机，对其输入预先存储标准晶圆特征图形模板数据，并输入图像分析系统的程序，该系统将接收的晶圆特征图形视频信号数据与预存标准模板灰度数据之间的相似度进行比较；一个运动控制卡，对其输入上述计算机图像分析结果的数据；一个伺服驱动机构，对其输入上述运动控制卡的脉冲信号和方向信号；一个在X、Y二维方向均可移动调整的工作台。大大地提高了划片机的自动化程度，提高了加工效率以及对准精度。