一种晶带轴快速对准的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种晶带轴快速对准的方法,包括以下步骤：步骤S1:在成像模式下，将样品的目标位置移动至荧光屏中心，并调整样品Z高度至图像正焦，记录此时样品的坐标；步骤S2:获取菊池衍射花样，标记一个离荧光屏中心最近的菊池极;步骤S3:分别量取所标记菊池极垂直于X轴和Y轴的长度，并分别估算样品台的倾转角度α和β值;步骤S4:根据估算的α和β值，计算倾转后的样品坐标Xt，Yt，Zt;步骤S5:成像模式下，在电镜操作软件中输入坐标值Xt，Yt，Zt以及倾转角度α和β值，样品台自动平移和旋转样品，此时电子束已经接近对准该菊池极所对应的晶带轴；步骤S6:会聚电子束，在衍射模式下，微调样品台α和β角度，将菊池极移动至荧光屏中心位置。
基本信息
专利标题 ：
一种晶带轴快速对准的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114544679A
申请号 ：
CN202210165440.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林惠玲
申请人 ：
福建师范大学
申请人地址 ：
福建省福州市闽侯县上街镇学府南路8号福建师范大学旗山校区
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈鼎桂
优先权 ：
CN202210165440.7
主分类号 ：
G01N23/20
IPC分类号 ：
G01N23/20 G01N23/20008 G01N23/20058
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用材料辐射的散射，例如测试非晶材料；利用材料辐射的反射
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/20
申请日 : 20220223
申请日 : 20220223
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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