一种晶带轴快速对准的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种晶带轴快速对准的方法,包括以下步骤:步骤S1:在成像模式下,将样品的目标位置移动至荧光屏中心,并调整样品Z高度至图像正焦,记录此时样品的坐标;步骤S2:获取菊池衍射花样,标记一个离荧光屏中心最近的菊池极;步骤S3:分别量取所标记菊池极垂直于X轴和Y轴的长度,并分别估算样品台的倾转角度α和β值;步骤S4:根据估算的α和β值,计算倾转后的样品坐标Xt,Yt,Zt;步骤S5:成像模式下,在电镜操作软件中输入坐标值Xt,Yt,Zt以及倾转角度α和β值,样品台自动平移和旋转样品,此时电子束已经接近对准该菊池极所对应的晶带轴;步骤S6:会聚电子束,在衍射模式下,微调样品台α和β角度,将菊池极移动至荧光屏中心位置。
基本信息
专利标题 :
一种晶带轴快速对准的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114544679A
申请号 :
CN202210165440.7
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
林惠玲
申请人 :
福建师范大学
申请人地址 :
福建省福州市闽侯县上街镇学府南路8号福建师范大学旗山校区
代理机构 :
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 :
陈鼎桂
优先权 :
CN202210165440.7
主分类号 :
G01N23/20
IPC分类号 :
G01N23/20 G01N23/20008 G01N23/20058
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射,例如,用于测试晶体结构;利用材料辐射的散射,例如测试非晶材料;利用材料辐射的反射
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/20
申请日 : 20220223
申请日 : 20220223
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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