将制作监视器添加到集成电路芯片的方法
专利权的终止
摘要
一种集成电路,一种用于设计该集成电路的方法和系统,以及一种用于制作该集成电路的方法。该方法包括:(a)生成集成电路的集成电路设计(300)的光掩模级设计,该光掩模级设计包括多个集成电路元件形状;(b)指定光掩模级设计在相邻集成电路元件形状之间的区域,这些指定区域大到足以需要基于填充形状规则(310)在相邻集成电路元件之间设置填充形状(305),这些填充形状不是集成电路的操作所需的;以及(c)在指定区域中的至少一个指定区域中设置监视器结构(315)的一个或者多个监视器结构形状(320),该监视器结构不是集成电路的操作所需的。
基本信息
专利标题 :
将制作监视器添加到集成电路芯片的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101147148A
申请号 :
CN200580049261.1
公开(公告)日 :
2008-03-19
申请日 :
2005-12-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
J·W·阿基森G·巴赞J·M·科恩M·S·格雷迪T·G·索普查克D·P·瓦尔特
申请人 :
国际商业机器公司
申请人地址 :
美国纽约阿芒克
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
王茂华
优先权 :
CN200580049261.1
主分类号 :
G06F17/50
IPC分类号 :
G06F17/50 G03F1/00
法律状态
2018-02-09 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G06F 17/50
申请日 : 20051222
授权公告日 : 20100707
终止日期 : 20161222
申请日 : 20051222
授权公告日 : 20100707
终止日期 : 20161222
2010-07-07 :
授权
2008-05-14 :
实质审查的生效
2008-03-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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