半导体器件的探针对齐验证电路和方法

专利权的终止

摘要

一种探针对齐验证电路，包括传感器垫片、第一传输线、控制单元、数据垫片、第二传输线、和响应单元。传感器垫片包括绝缘部分和导电部分。第一传输线电连接到导电部分和半导体器件的内部。控制单元维护第一传输线处于第一逻辑状态，并且当在导电部分接收到探测信号时，将第一传输线的逻辑状态转换到第二逻辑状态。第二传输线向数据垫片提供预定的信号。响应单元控制第二传输线以便响应于第二逻辑状态而使第二传输线具有用于未对齐状态的验证结果电压的状态。

基本信息

专利标题：

半导体器件的探针对齐验证电路和方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1908575A

申请号：

CN200610071827.7

公开（公告）日：

2007-02-07

申请日：

2006-03-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

崔钟贤徐宁焄

申请人：

三星电子株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

邸万奎

优先权：

CN200610071827.7

主分类号：

G01B7/00

IPC分类号：

G01B7/00 G01R31/00 G01R31/26 H01L21/66