一种夹持晶片的装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供一种用于夹持晶片的装置,其包括两个金属板以及两个支撑杆,其中,一个金属板用于承载晶片,两个支撑杆固定在承载晶片的金属板的两侧,另一个金属板可以通过两个支撑杆滑动;至少一个金属板在与晶片接触的接触面设有凹槽和凸起部分,且凹槽的面积大于凸起部分的面积。此外,至少一个金属板在与晶片接触的接触面的边缘设有一圈凸起部分,其用于压合晶片以使晶片边缘密闭。与现有技术相比,本实用新型的装置在金属板的接触面上设置的凹槽减少金属板对晶片的压力,均匀分散了压力,从而有效防止晶片破片;此外,凸起部分的压合使晶片的边缘密闭,消除了晶片与顶部金属板之间的间隙,防止电浆炉内中等离子气体腐蚀晶片表面的银层,由此增强晶片的供电能力。
基本信息
专利标题 :
一种夹持晶片的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620047519.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-11-03
授权号 :
CN200965868Y
授权日 :
2007-10-24
发明人 :
龚伟平张龙
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市张江路18号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
王洁
优先权 :
CN200620047519.6
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2016-12-28 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101693578923
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2006200475196
申请日 : 20061103
授权公告日 : 20071024
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101693578923
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2006200475196
申请日 : 20061103
授权公告日 : 20071024
终止日期 : 无
2013-04-10 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101564015298
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2006200475196
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130320
号牌文件序号 : 101564015298
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2006200475196
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130320
2007-10-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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