本实用新型公开的一种制作等离子显示面板时层叠干膜抗蚀剂的装置，包括卷有干膜抗蚀剂膜的供给辊、传送辊、层叠辊以及设置于后玻璃基板下面的搬送辊，还包括一设置于层叠辊前方的水雾喷嘴，该水雾喷嘴与一超声雾化器相连接。本实用新型通过在现有层叠装置加装压电陶瓷超声雾化器，并通过喷嘴在基板上喷覆一层稀薄的水，再层叠干膜抗蚀剂膜，就不会出现空气残留在DFR膜和基板之间，从而解决了由于干膜抗蚀剂膜与基板之间残存的空气泡而导致障壁图形缺陷的问题。