节省原料并增加膜淀积速度，同时保持膜的均匀度和较高的膜质量。提供一种用于多层透明导电膜的连续形成的膜淀积设备，其包括：基板附着部分；装料部分，在此执行抽空；多层淀积处理部分，其包括两个或更多淀积处理部分，用于通过在汽相下对有机金属化合物(乙二酸锌)、乙硼烷和水进行反应，利用MOCVD方法在基板上形成透明导电膜；基板取出部分；基板分离部分；以及定位器返回部分，在这里将基板定位器返回到基板附着部分。在将基板顺序地移动通过这些部分的同时接连地执行膜淀积。每个淀积处理部分设有用于喷射有机金属化合物、乙二酸锌和水的喷管以及设有用于对该喷管冷却的冷却机构。