合并光刻掩膜的次分辨率辅助特征
授权
摘要
合并次分辨率辅助特征包括：接收包括所述次分辨率辅助特征的掩膜图案(10)。选择第一次分辨率辅助特征以与第二次分辨率辅助特征合并。确立合并棒(16)的合并棒宽度。确定所述第一次分辨率辅助特征与所述第二次分辨率辅助特征之间的距离。依据所述距离及所述合并棒宽度确定合并技术。根据所述确认的合并来合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征。
基本信息
专利标题 ：
合并光刻掩膜的次分辨率辅助特征
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101589391A
申请号 ：
CN200680013588.8
公开（公告）日 ：
2009-11-25
申请日 ：
2006-02-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
肖恩·C·奥布赖恩张国鸿
申请人 ：
德州仪器公司
申请人地址 ：
美国得克萨斯州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘国伟
优先权 ：
CN200680013588.8
主分类号 ：
G06F17/50
IPC分类号 ：
G06F17/50
法律状态
2012-06-06 ：
授权
2010-01-20 ：
实质审查的生效
2009-11-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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