本实用新型提供了一种可避免硅片在批量清洗时相互粘贴的支撑机构，其设置在底部具有两平行的第一肋条的清洗槽内，该硅片设置在底部具有两平行的第二肋条的承片架中进行批量清洗，该第二肋条的长度大于两第一肋条的间距，通过将第二肋条垂直放置在第一肋条上而将承片架设置在清洗槽中。现有技术因无专门的支撑机构致使晶圆放置在承片架中清洗时易造成晶圆粘贴。本实用新型的支撑机构包括两垫块和两顶推固定件，该两垫块分别设置在任一第一肋条上恰放置两第二肋条的位置上，该两顶推固定件分别设置在两垫块侧边且与第一肋条平行并顶在清洗槽侧壁上，用于将两垫块固定在该任一第一肋条上。采用本实用新型的支撑机构可大大提高清洗硅片的安全可靠性。