一种三重气流金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，主要包括反应气体进气管道、压气进气管道、喷淋口、冷却腔、载片盘、反应腔、加热器，其特征在于所述反应气体A进气管道从反应腔顶端接入，其下方设有载片盘，载片盘的上部设有喷淋口与冷却腔，压气P进气管道与反应气体B的进气管道同轴包裹在反应气体A进气管道的外壁上，压气P进气管道的出口位于反应气体A出口的上方，反应气体B的出口位于缓冲腔的顶部。本实用新型的优点是采用水平层流和竖直喷淋相结合的气流流场的结构，抑制了喷淋气体反弹回流造成的局部湍流，提高了反应气体分布的均匀性、解决了颗粒附着的清洗问题，该结构简单，易于制造并具有可扩展性。