大型多功能真空溅射离子注入机

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种大型多功能真空溅射离子注入机，它由炉体底座、炉体、上盖三部份组成，整体为圆形，底座和炉体右扇第一节的下连接法兰连接，上连接法兰和第二节连接，多节相连增高，炉体左扇和右扇相对应，由开含油缸和轨道车控制开合，缝隙间有耐高温密封垫进行密封紧固，上盖上装有悬挂自动定位球体，靶芯固定支架螺帽，自动定位靶芯固定不动，转动齿轮装在靶芯下端带动挂吊筒、拉筋、吊盘和加工工件转动，该炉的特征在于：在磁控溅射离子镀全部工艺不变，保证质量的情况下不需增高厂房对大口径，超长度加工件进行离子镀、渗碳、渗钛等多种工艺加工，节省巨大资金，有利于保护炉内各种电器原件和设施，便于清炉，便于装炉、出炉。

基本信息

专利标题：

大型多功能真空溅射离子注入机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720115499.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-01-27

授权号：

CN200999258Y

授权日：

2008-01-02

发明人：

李忠河李智远

申请人：

李忠河

申请人地址：

161002黑龙江省齐齐哈尔市铁锋区车辆厂住宅南四楼19-202室

代理机构：

齐齐哈尔鹤城专利事务所

代理人：

刘丽

优先权：

CN200720115499.6

主分类号：

C23C14/22

IPC分类号：

C23C14/22 C23C14/34 C23C14/48