一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置，翻转输出座的表面上开有真空吸附接口，翻转输出座内有与真空吸附接口连通的密闭腔室；翻转轴的后端固定连接一个与吸附驱动气源连接的旋转接头，翻转轴沿轴心开有气道，气道的前端与翻转输出座的密闭腔室连通，气道的后端与旋转接头的气道连通；翻转轴是一个自前至后直径渐小的阶梯轴，翻转轴最前端的台阶上套有轴承，由轴承压盖和螺钉将翻转轴与轴座固定，轴座固定在基座上，在翻转轴上位于轴承后一台阶套有轴承锁母，在翻转轴上位于轴承锁母后的台阶上固定有翻转齿轮，翻转齿轮与主动齿轮传动连接，主动齿轮与翻转气缸的输出轴连接。具有体积小、重量轻、结构简单、使用寿命长，成本低廉的优点。