本实用新型一种整合式等离子体处理机构，其包括：一反应腔、一载盘、以及至少一等离子体源。其中，反应腔包括一底板、一顶板、以及围绕反应腔的一周壁，周壁具有一侧窗以及一进料门，侧窗向外延伸有一侧室，侧室具有一侧壁，且反应腔具有一进气口以及一排气口。并且载盘是配置于底板之上。本实用新型的整合式等离子体处理机构可同时装配多种等离子体源供应器于其中，加上其独特具有的圆筒型反应腔，能增进工艺气体的良好流场散布，使反应腔内的等离子体分布更为均匀，进而使清洁效果更为提升。