掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件
授权
摘要
本发明公开了一种掩模组件，其被构造成防止掩模热变形并保持多个分开的图案掩模之间的间隙。根据一个实施例，该掩模组件包括：开口掩模，其具有在行或列上排列的多个第一开口；图案掩模，其包括多个单位图案掩模。在一些实施例中，可相对于开口掩模固定单位图案掩模的端部，该单位图案掩模包括被构造成与开口掩模的多个第一开口对齐的多个掩模图案单元。在一些实施例中，拉力被施加到单位图案掩模。
基本信息
专利标题 ：
掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN102851638A
申请号 ：
CN201210263043.X
公开（公告）日 ：
2013-01-02
申请日 ：
2005-11-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金义圭金泰亨
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道龙仁市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭鸿禧
优先权 ：
CN201210263043.X
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C16/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2015-11-18 ：
授权
2013-02-20 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101395928263
IPC(主分类) : C23C 14/04
专利申请号 : 201210263043X
申请日 : 20051117
号牌文件序号 : 101395928263
IPC(主分类) : C23C 14/04
专利申请号 : 201210263043X
申请日 : 20051117
2013-01-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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