金属氧化物及场效应晶体管
授权
摘要

提供一种新颖的材料。在具有金属氧化物的场效应晶体管中,晶体管的沟道形成区域包含至少具有两个不同的能带宽的材料。该材料具有各为0.5nm以上且10nm以下的纳米尺寸的粒子。纳米尺寸的粒子以马赛克状分散或分布。

基本信息
专利标题 :
金属氧化物及场效应晶体管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109196656A
申请号 :
CN201780033970.3
公开(公告)日 :
2019-01-11
申请日 :
2017-05-26
授权号 :
CN109196656B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
山崎舜平
申请人 :
株式会社半导体能源研究所
申请人地址 :
日本神奈川县
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
侯颖媖
优先权 :
CN201780033970.3
主分类号 :
H01L29/786
IPC分类号 :
H01L29/786  G02F1/1368  H01L51/50  
法律状态
2022-04-19 :
授权
2019-06-28 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/786
申请日 : 20170526
2019-01-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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