等离子体处理装置
授权
摘要
等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。
基本信息
专利标题 ：
等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110800376A
申请号 ：
CN201780092519.9
公开（公告）日 ：
2020-02-14
申请日 ：
2017-06-27
授权号 ：
CN110800376B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
井上忠田名部正治关谷一成笹本浩佐藤辰宪土屋信昭
申请人 ：
佳能安内华股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
宋岩
优先权 ：
CN201780092519.9
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 C23C16/505
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-03-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/46
申请日 : 20170627
申请日 : 20170627
2020-02-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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