片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统
授权
摘要
本发明提供的片盒监控方法，用于防止工件重复工艺，当指定槽位中存放有工件时，先获取并存储片盒的该指定槽位的工件状态，当接收到指定槽位中的工件对应的执行任务请求时，读取该槽位的工件状态，若工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若所述工件状态为待处理，则执行任务。由此，可以根据不同的工件状态自动执行任务或者停止执行任务，从而可以避免受到人为因素的影响，进而避免将已处理状态的工件再次传入工艺腔室进行重复工艺，可以有效降低坏片率，进而提高工件生产效率。
基本信息
专利标题 ：
片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110391150A
申请号 ：
CN201810361120.2
公开（公告）日 ：
2019-10-29
申请日 ：
2018-04-20
授权号 ：
CN110391150B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
陈玉静
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201810361120.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2019-11-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20180420
申请日 : 20180420
2019-10-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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