一种半导体加工系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体加工系统,包括底板,所述底板顶部的中部通过轴承转动安装有安装轴,所述安装轴的顶部固定连接有圆形板。该一种半导体加工系统,通过底板、圆形滑轨、滑块、电动伸缩杆、工件放置件、圆形板、安装轴、传动结构与驱动电机的配合使用,通过在圆形板的顶部安装的四个工件放置件,使其之间进行交替的使用,一个工件放置件进行进行锡膏印刷时,由两个工件放置件在等待,最后一个工件放置件在进行工件的切换,在对工件放置件上工件切换的同时也有工件在进行印刷操作,有效的降低了工件切换时,系统暂停工作所占据的时间,使得系统可进行持续性的印刷工作,进而大大的提高了系统的工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种半导体加工系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022343853.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-20
授权号 :
CN213583707U
授权日 :
2021-06-29
发明人 :
包安勇
申请人 :
正芯半导体技术(深圳)有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2070号电子科技大厦A座3104
代理机构 :
广州德伟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄浩威
优先权 :
CN202022343853.9
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-06-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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