半导体存储器及其制造方法
授权
摘要

本发明属于半导体存储器技术领域,具体公开了一种半导体存储器,包括:半导体衬底,以及位于所述半导体衬底中的:至少一个栅沟槽;分别位于所述栅沟槽两侧的自上而下的n型漏区、p型基区和n型源区;位于所述栅沟槽中的一个控制栅结构和两个浮栅结构,所述两个浮栅结构分别位于所述栅沟槽的上部的两侧,所述控制栅结构覆盖所述栅沟槽的下部并且在所述栅沟槽的上部将所述两个浮栅浮栅结构隔离。本发明的半导体存储器在实现长电流沟道的同时可以维持很小的芯片面积,而且,本发明的半导体存储器可以采用自对准工艺制造,制程简单。

基本信息
专利标题 :
半导体存储器及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110957325A
申请号 :
CN201811130811.8
公开(公告)日 :
2020-04-03
申请日 :
2018-09-27
授权号 :
CN110957325B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
刘磊刘伟袁愿林龚轶
申请人 :
苏州东微半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20栋405-406
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN201811130811.8
主分类号 :
H01L27/11521
IPC分类号 :
H01L27/11521  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/10
在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105
包含场效应组件的
H01L27/112
只读存储器结构的
H01L27/115
电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11517
具有浮栅的
H01L27/11521
以存储器核心区为特征的
法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-01-22 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01L 27/11521
变更事项 : 申请人
变更前 : 苏州东微半导体有限公司
变更后 : 苏州东微半导体股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215028 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20栋405-406
变更后 : 215028 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20栋405-406
2020-05-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/11521
申请日 : 20180927
2020-04-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN110957325A.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332