等离子体处理装置
授权
摘要
等离子体处理装置包括：具有第一输入端子、第二输入端子、第一输出端子和第二输出端子的巴伦；真空容器；被电连接至第一输出端子的第一电极；被电连接至第二输出端子的第二电极；以及被配置为电连接真空容器与地的连接部，该连接部包括电感器。
基本信息
专利标题 ：
等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110800377A
申请号 ：
CN201880042465.X
公开（公告）日 ：
2020-02-14
申请日 ：
2018-06-26
授权号 ：
CN110800377B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
关谷一成田名部正治井上忠笹本浩佐藤辰宪土屋信昭
申请人 ：
佳能安内华股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
宋岩
优先权 ：
CN201880042465.X
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 B01J19/08 C23C14/34 H01L21/3065
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2020-03-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/46
申请日 : 20180626
申请日 : 20180626
2020-02-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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