基板组装装置及基板组装方法
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摘要
本发明提供一种能够减少基板的挠曲的基板组装装置及基板组装方法。基板组装装置(1)将一方的基板保持在下工作台(10)上，将另一方的基板以与所述一方的基板对置的方式保持在上工作台(9)上，利用设置在任一方的基板上的粘接剂在真空腔室内进行贴合，所述基板组装装置在下工作台(10)的用于保持基板的面上具有稀疏配置的第一提升件和密集配置的第二提升件，在利用第二提升件使基板上升了规定量之后，利用第一提升件使基板进一步上升。在上工作台(9)及/或下工作台(10)的用于保持基板的面上具有彼此相邻配置的多个凸部及多个凹部，所述凹部的宽度相对于上工作台(9)及/或下工作台(10)的宽度的比率为10－6～10－4。
基本信息
专利标题 ：
基板组装装置及基板组装方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110703469A
申请号 ：
CN201910607458.6
公开（公告）日 ：
2020-01-17
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN110703469B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
海津拓哉市村久真锅仁志斋藤正行
申请人 ：
艾美柯技术株式会社
申请人地址 ：
日本茨城县
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
张宝荣
优先权 ：
CN201910607458.6
主分类号 ：
G02F1/13
IPC分类号 ：
G02F1/13
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的，例如单位液晶显示单元
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-02-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/13
申请日 : 20190708
申请日 : 20190708
2020-01-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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