一种声表面波滤波器件晶圆级封装方法及其结构
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摘要
本发明属于声表面波滤波器晶圆封装技术领域,具体涉及一种声表面波滤波器件晶圆级封装方法及其结构,所述结构包括功能晶圆和有机感光膜盖板,在功能晶圆的中央包括多个工作面朝向相同的功能芯片;有机感光膜盖板位于功能晶圆的正上方,在有机感光膜盖板的四周向下叠放有多层台阶,其中,距离有机感光膜盖板最近的为第一层台阶,第一层台阶为有机感光膜台阶、第二层台阶为焊盘电极,且所述焊盘电极固定在功能晶圆上;在盖板的部分上表面、外表面以及每一层台阶的外表面制备有连续导通的金属种子层;在盖板的部分上表面的金属种子层上还包括外部焊球。本发明通过有机感光膜的方式避免了键合和刻蚀过程造成的裂片,缩短了工艺流程,降低了加工成本。
基本信息
专利标题 :
一种声表面波滤波器件晶圆级封装方法及其结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110649909A
申请号 :
CN201910937621.5
公开(公告)日 :
2020-01-03
申请日 :
2019-09-30
授权号 :
CN110649909B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
刘娅马晋毅孙科杨正兵兰中文田本郎余忠谭发增邬传健徐阳蒋晓娜杜雪松蒋平英郭荣迪
申请人 :
中国电子科技集团公司第二十六研究所;电子科技大学
申请人地址 :
重庆市南岸区南坪花园路14号
代理机构 :
重庆辉腾律师事务所
代理人 :
王海军
优先权 :
CN201910937621.5
主分类号 :
H03H9/64
IPC分类号 :
H03H9/64 H03H9/02 H01L23/31
法律状态
2022-05-03 :
授权
2020-02-04 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/64
申请日 : 20190930
申请日 : 20190930
2020-01-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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