一种半导体制程中气体回路用高压隔膜阀
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体制程中气体回路用高压隔膜阀，属于阀门技术领域，包括阀门主体，阀门主体两侧的中间位置处设置有出气口，且阀门主体的底部设置有进气口，阀门主体底端内壁的两侧设置有挡板，且阀门主体两侧的底端转动连接有贯穿至阀门主体内部的螺杆，阀门主体的顶部设置有贯穿至阀门主体内部的套管。本实用新型通过设置的复位弹簧推动连接柱向下运动，连接柱带动堵头向下运动，堵头与挡板相互作用，完成一级密封，设置的螺杆推动隔膜拉伸，两组隔膜相互作用使得密封效果更好，通过高压气体高压提压缩复位弹簧，使得堵头离开挡板完成代开的目的，设置的连接杆旋转带动堵头储蓄向下，完成阀门的紧急关闭，从而简化阀门开启的步骤。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体制程中气体回路用高压隔膜阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920422045.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-30
授权号 ：
CN210106662U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
王汉清
申请人 ：
江苏阀邦半导体材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市崇川区新胜路158号9幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920422045.6
主分类号 ：
F16K7/00
IPC分类号 ：
F16K7/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K7/00
隔膜切断装置，如用元件变形来闭合通道，而元件不整个移动
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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