双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。本实用新型对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。
基本信息
专利标题 ：
双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920478030.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-10
授权号 ：
CN209836301U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
关刚刚李少华赵亚国
申请人 ：
西安西炉特种电炉有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区西三环和科技路十字西北角绿地国际花都8幢1单元10层11007号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
王蕊转
优先权 ：
CN201920478030.1
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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