一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置
授权
摘要
本实用新型提供一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置。电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括：炉体，所述炉体的两侧均开设有锥形安装孔；两个轴承座，两个轴承座分别固定安装在所述炉体的两侧；两个螺纹套筒，两个所述螺纹套筒分别转动安装在两个所述轴承座上；两个螺纹管，两个所述螺纹管分别螺纹安装在两个所述螺纹套筒内；两个引电极，两个所述引电极分别设于两个所述螺纹管内。本实用新型提供的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置具有对引电极与炉体上的安装孔进行良好密封、避免锥形橡胶圈因受热而与安装孔产生缝隙而导致炉体内气体外泄、且可减少灰尘沉集的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021326310.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-08
授权号 ：
CN212770945U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
贺鹏博周帆
申请人 ：
湖南铠欣新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
代理机构 ：
长沙轩荣专利代理有限公司
代理人 ：
黄艺平
优先权 ：
CN202021326310.X
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/26 F16J15/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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