一种用于碳化硅单晶生长炉的温度检测调整机构
授权
摘要
本实用新型涉及碳化硅炉，特别是涉及一种用于碳化硅单晶生长炉的温度检测调整机构。包括测温仪；还包括测温仪固定板，测温仪设于测温仪固定板上；测温仪固定板下方设有下底板，测温仪固定板与下底板通过螺杆相连。本实用新型在实际应用中，可以通过调节锁紧螺母来带动调节测温仪固定板的垂直距离从而调节测温仪的高度距离，达到测不同高度距离的温度的效果。本调整机构也可以测量同一高度不同角度下的温度，调节锁紧螺母在不同的水平面上，使测温仪固定板有一定的角度倾斜，测温仪固定板带动测温仪使之距中心轴有偏差角度从而达到测不同角度下的温度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碳化硅单晶生长炉的温度检测调整机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920537696.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN210151244U
授权日 ：
2020-03-17
发明人 ：
胡建荣高宇倪军夫董熔成石明智陈吉傅林坚曹建伟李勇跃
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN201920537696.X
主分类号 ：
C30B29/36
IPC分类号 ：
C30B29/36 C30B23/00 G01K1/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-03-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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