一种雪崩光电二极管
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摘要

本实用新型公开了一种雪崩光电二极管,涉及光电二极管技术领域,包括底层,其包括衬底、缓冲层和光吸收层,衬底的下表面设有阴极;顶层,其设置于底层上方,顶层包括雪崩增益层和锌扩散层;锌扩散层包括非扩散区和锌扩散区,非扩散区和部分锌扩散区被刻蚀,锌扩散区未被刻蚀的部分为光敏区,锌扩散区被刻蚀的部分为环形槽;非扩散区与部分环形槽的上方蒸镀有绝缘层,未蒸镀绝缘层的环形槽和绝缘层上方蒸镀有环形阳极;环形阳极、绝缘层和阴极构成MIS结构。本实用新型的雪崩光电二极管,可产生阳极电容效应,改变阳极下方p型掺杂区域边缘的电场分布,减小耗尽区边缘曲率,降低边缘电场强度,从而抑制边缘预先击穿。

基本信息
专利标题 :
一种雪崩光电二极管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920625445.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-30
授权号 :
CN209675318U
授权日 :
2019-11-22
发明人 :
曾磊王肇中李永平
申请人 :
武汉光谷量子技术有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号C1-901室
代理机构 :
武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
彭程程
优先权 :
CN201920625445.7
主分类号 :
H01L31/107
IPC分类号 :
H01L31/107  H01L31/0352  H01L31/18  
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法律状态
2019-11-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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