低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管
授权
摘要
本实用新型给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管；包括骨架和石英玻璃纤维，骨架为两端开口的圆管状，骨架的外壁契合低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁轮廓，骨架设有容纳内孔载片舟的内孔，石英玻璃纤维完全包裹在骨架外壁和内孔侧壁上形成石英玻璃纤维层，石英玻璃纤维层外侧镀有与低压化学气相沉积真空管式炉中反应气体产生的沉积物相同的沉积层。将本柔性衬管套装在低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁上，沉积物沉积到本低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管上，可以阻挡沉积物沉积到低压化学气相沉积真空管式炉的石英管上，而且本柔性衬管没有密封要求，便于维护，又易拆装，同时成本节约50％。
基本信息
专利标题 ：
低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920668512.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-10
授权号 ：
CN209974890U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
王杨阳马磊章新良刘海孙友巍孙嵩泉
申请人 ：
普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请人地址 ：
安徽省蚌埠市汤和路268号
代理机构 ：
蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司
代理人 ：
王琪
优先权 ：
CN201920668512.3
主分类号 ：
C23C16/54
IPC分类号 ：
C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/54
连续镀覆的专用设备
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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