一种集成电路低压化学气相沉积系统
公开
摘要
本发明公开了一种集成电路低压化学气相沉积系统，涉及化学气相沉积技术领域。该集成电路低压化学气相沉积系统，包括气相沉积机构，所述气相沉积机构设置有固定板，所述固定板的左侧固定连接有灰尘过滤机构，且气相沉积机构与灰尘过滤机构固定连接，所述固定板的外壁固定连接有灰尘清理机构，且气相沉积机构与灰尘清理机构固定连接。该集成电路低压化学气相沉积系统，通过过滤网软性材料，过滤网位于固定板孔内的位置会陷入，进而使灰尘可以跟随气流的移动，移动到过滤网陷入的位置，灰尘堆积在一起后更易于成团，而且过滤网的一处凹陷，可以气流沿着凹陷的轨迹流动，进而使灰尘堆积在一起。
基本信息
专利标题 ：
一种集成电路低压化学气相沉积系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114470992A
申请号 ：
CN202210075158.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郭芳
申请人 ：
郭芳
申请人地址 ：
四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区和乐二街171号3栋
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210075158.X
主分类号 ：
B01D46/10
IPC分类号 ：
B01D46/10 B01D46/76 C23C16/44
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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