逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置。本实用新型中的LCD显示屏固定于装置底部，全反射镜和分光镜固定于同一高度处，并分别位于LCD显示屏和被测晶圆的正上方，LCD显示屏显示经光强编码的条纹图像、前置小孔CMOS相机的图像采集由计算机控制，图像处理和误差补偿由计算机实现。
基本信息
专利标题 ：
逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920846630.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-06
授权号 ：
CN209706766U
授权日 ：
2019-11-29
发明人 ：
阮旸邹典沈芳沅胡华威徐昊学史家琰
申请人 ：
中国计量大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市江干区学源街258号中国计量大学
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920846630.9
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2021-05-18 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01B 11/30
申请日 : 20190606
授权公告日 : 20191129
终止日期 : 20200606
申请日 : 20190606
授权公告日 : 20191129
终止日期 : 20200606
2019-11-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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