本实用新型涉及自动化生产技术领域，尤其涉及一种柔性基片拉平装置。该柔性基片拉平装置包括工作台以及设置于所述工作台上的第一真空吸附机构和第二真空吸附机构，所述第一真空吸附机构用于将边框吸附固定在所述工作台上，所述第二真空吸附机构用于将所述边框向下吸附，使所述边框发生弯曲形变。本实用新型提供的柔性基片拉平装置，通过控制边框的弯曲形变与弯曲量被释放的过程，实现对柔性基片的拉平动作，进而有效解决了柔性基片在自动化生产过程中的褶皱和不平整问题。