一种提拉法晶体生长设备用冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座、籽晶杆和冷却套，在周向阵列分布的滑轨、压头、滑动柱、滑套和弹簧的作用下可以压紧籽晶杆，减缓籽晶杆的晃动进而保证了晶体的生产质量，同时由于压头内设置有球头安装座和球头，所以在压紧的过程中并不会影响籽晶杆作旋转运动；在循环泵的作用下使储液箱内的冷却液在冷却管内循环流动，螺旋形的冷却管可以增大冷却面积提高冷却效果，进而提高了籽晶杆的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种提拉法晶体生长设备用冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920943862.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-21
授权号 ：
CN210262074U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
刘刚
申请人 ：
成都晶九科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区高新西区西区大道199号B1幢
代理机构 ：
成都厚为专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN201920943862.6
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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