一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置，所述扩晶环中固定有载有晶圆的薄膜，所述扩晶环承载装置为两层平台层叠而成的双层结构，上层平台为直径略小于所述扩晶环内径而高度略大于所述扩晶环高度的圆柱体，下层平台的水平方向最大尺寸大于所述扩晶环内径，下层平台内部形成有一腔体，所述腔体通过设置于下层平台侧壁上的至少一个抽气孔与外部连通，所述上层平台中设置有多个自上表面向下贯通至所述腔体的排气孔。本实用新型可有效解决目检过程中产品容易移动，薄膜易破损以及失焦问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920950510.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-24
授权号 ：
CN210115259U
授权日 ：
2020-02-28
发明人 ：
缪晓斌王国杰
申请人 ：
苏州长瑞光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
代理机构 ：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨楠
优先权 ：
CN201920950510.3
主分类号 ：
B07C7/04
IPC分类号 ：
B07C7/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07C
邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选
B07C7/00
只用手工的分选
B07C7/04
手工拣选的装置或附件
法律状态
2020-02-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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