一种用于碳化硅晶片生产的夹紧装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片生产的夹紧装置,包括底板和电动机,所述底板底部外壁两侧均通过螺栓固定有支撑柱,且底板顶部外壁轴心处放置有圆形安置板,所述圆形安置板顶部外壁开设有等距离环形分布的四个安置槽,且四个安置槽底部内壁均通过螺栓固定有电动滑轨,四个所述电动滑轨其中两个相向的电动滑轨滑动件顶部外壁均固定有放置箱,且四个电动滑轨另外两个相向的电动滑轨滑动件顶部外壁均固定有固定块。本实用新型两个真空泵对碳化硅晶片两侧进行夹紧,通过两个固定夹板、两个滑动夹板可对碳化硅晶片两边外壁进行加紧,实现了不同方式夹紧的效果,电动机转动时可带动圆形安置板转动,实现了角度的调节。
基本信息
专利标题 :
一种用于碳化硅晶片生产的夹紧装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920992721.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-28
授权号 :
CN210361976U
授权日 :
2020-04-21
发明人 :
袁凤坡张震申硕李晓波曾昊
申请人 :
同辉电子科技股份有限公司
申请人地址 :
河北省石家庄市鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号
代理机构 :
石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
周大伟
优先权 :
CN201920992721.3
主分类号 :
B28D5/00
IPC分类号 :
B28D5/00 B28D7/04 G05B19/05
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
法律状态
2020-04-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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