一种晶圆检测设备的扩晶环供料装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种晶圆检测设备的扩晶环供料装置,包括底板和立板,所述底板上一侧设置有立板,所述立板上中部一侧连接有限位板,所述限位板上设置有连接杆,所述连接杆底部通过所述限位板,所述连接杆底部两侧均焊接有第一固定板,所述连接杆上焊接有套有固定盘,所述固定盘顶部设置有接料板,所述固定盘上两端均设有第一柱体,所述第一柱体上设置有第二柱体,所述第二柱体的顶部设有橡胶垫,所述第二柱体的底部通入到所述第一柱体内,所述第二柱体的底部连接有压块,所述第一柱体内设置有强力弹簧,所述强力弹簧与所述压块挤压,所述立板底部一侧设置有电机。有益效果:本实用新型实现了扩晶环供料过程的自动化,提高扩晶环检测的生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆检测设备的扩晶环供料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921288881.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-09
授权号 :
CN210572402U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
游勤兰
申请人 :
深圳市超兴达科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区观澜街道黎光社区新围1163号102
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921288881.6
主分类号 :
G01R1/04
IPC分类号 :
G01R1/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳;支承构件;端子装置
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332