一种硅片清洗药剂槽

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗药剂槽，该硅片清洗药剂槽包括溢流储液槽、清洗槽、出液管、液体泵、加热装置和振动装置，所述溢流储液槽具有液体出口和液体回流口，所述清洗槽具有溢流口，所述溢流口位于所述清洗槽的底壁上方，所述溢流口与所述液体回流口相连通，所述出液管的周面上设有多个出液孔，所述出液管设在所述清洗槽的底壁上，所述出液管与所述液体出口相连；液体泵，所述液体泵连接在所述出液管与所述液体出口之间以将所述溢流储液槽内的清洗药剂输送至所述清洗槽内，所述加热装置设在所述清洗槽内，所述振动装置设在所述清洗槽内。该硅片清洗药剂槽内部溶液浓度及温度较为均匀，提升了硅片的清洗效果。

基本信息

专利标题：

一种硅片清洗药剂槽

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921309922.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-13

授权号：

CN210386771U

授权日：

2020-04-24

发明人：

谷宁宁李飞龙

申请人：

阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司

申请人地址：

河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路2号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921309922.5

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/12 B08B3/10 B08B3/14 B08B13/00