一种旋转叉臂
授权
摘要
本实用新型提供一种旋转叉臂，包括叉臂和加热模块，叉臂包括传动臂和承载环，加热模块包括导热单元和控温单元。通过叉臂上的环形承载环对晶圆进行支撑，提高晶圆与叉臂之间的接触面积，同时可以稳定的移动晶圆。并在取晶圆时，可以通过加热模块对承载环进行预先加热，达到退火时晶圆的温度，避免承载环宇晶圆之间温差较大造成破片，且通过控温单元对导热单元进行逐级的降温，达到晶圆自然降温的效果，而不会因为环境的温差而造成破片，提高了晶圆退火后的生产良率，以及生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转叉臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921358008.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-21
授权号 ：
CN210182354U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
黄自培黄建顺林元鼎
申请人 ：
福建省福联集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐剑兵
优先权 ：
CN201921358008.X
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/324
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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